ZX8539H精密LCR表/半导体C-V分析仪

ZX8539H半导体C-V特性测试仪：使用自动平衡电桥技术及四端对开尔文测试端、测量频率范围涵盖20Hz~10MHz，最小分辨率1mHz，基本测量精度可达0.05%。 主要用于测试半导体器件PN结的势垒电容在不同偏压(V)下的电容量(C)。ZX8539H半导体C-V特性测试仪除了可以连接电脑上位机软件扫描分析功能外，还提供在仪器大屏液晶显示器上直接显示C-V扫描曲线分析功能。这样客户不再需要为每台仪器配置一台电脑。这种方式既保证了测试效率，又降低了测试成本、还方便客户在生产线上使用。还可以把仪器屏幕上显示图形和测试数据直接拷贝到U盘。可用于分析晶圆的掺杂浓度等。 本仪器还可以测试MOS管的输入电容Ciss，输入电阻Rg等参数。同时提供了内置±10VDC电压源方便客户测试3端管子。

功能与优势

自动平衡电桥测试原理

ZX8539H采用了自动平衡电桥测试原理：将传统的简易测量运放架构，全面升级为由Lpot检零电路、0度/90度数字鉴相及调制解调电路、Lcur高频驱动电路等核心模块构建的矢量负反馈网络。这一架构革新使得测量电路的“虚地”端更加趋近理想状态，从而在各类实际应用场景中，极大地提升了仪器的测量精度与抗干扰能力，使其可以满足元件与材料大部分低压参数的测量要求。

拓宽材料可测量特性

◆  快速精准测量固体材料介电常数

近年来电子电力技术飞速发展，使得电子元器件的材料特性成为了影响电路行为的关键因素。在应用日益广泛的高电容多层陶瓷电容器（MLCC）制造中，需要使用高介电常数材料，在材料选定前，必须进行各项电气性能评估。ZX8538优化了其基本性能，可搭配我司介电常数专用夹具ZX85Y77（L），快速、精准测量固体材料电容值（C），以通过公式计算得到介电常数（κ），并稳定显示材料损耗因子（D）。

在集成电路、功率器件、光电器件、存储芯片等核心应用领域，半导体C-V特性是从材料、工艺到器件的可靠性基础，更是MOS管与功率器件的重要特性。因此，以该性能的测量为导向在ZX8539H中特别设计了绘图扫描功能，使得用户能够在快速精准测量其特性的同时进行便捷直观的数据分析。

半导体测量典型应用场景

■ 二极管结电容测量

■ MOS FET测量

■ 半导体C-V测量基础原理

■ 变容二极管C-V测量

■ 硅晶片C-V测量

■ 晶圆掺杂浓度分析

典型应用场景