Keithley 700 系列半导体开关系统:为半导体测试注入高效精准新动能

Keithley 700系列包含 707B与708B 两款核心机型,以差异化配置满足不同规模测试场景的需求:
708B 单槽半导体开关矩阵:专为小型测试系统设计,可实现高达 96 个相交点的信号切换,支持单块交换卡 8 行 12 列的阵列布局,在有限引脚数仪器的测试场景中,以紧凑结构实现高效通道扩展,是研发实验室小批量器件测试的理想选择。
707B 六槽半导体开关矩阵:面向中大型自动化测试场景,支持高达 576 个相交点的信号切换,可扩展至 2880 个通道,轻松应对晶圆级多器件并行测试、批量生产筛选等大规模测试任务,显著提升测试吞吐量。
两款机型均针对现有测试系统的无缝集成进行了优化,完美解决用户升级难题。为降低 707A 和 708A 大型机用户的迁移成本,707B 和 708B 采用命令仿真设计,兼容专为前代机型开发的主流开关矩阵卡,用户无需更换现有硬件即可享受新型主机的性能优势,实现测试系统的平滑升级。
高性能矩阵卡组合,全场景覆盖测试需求:
Keithley 700 系列配套的专用矩阵卡,针对半导体测试的低电流、高阻抗、高压等特殊场景进行优化,为不同测试需求提供精准解决方案:
7174A 低电流矩阵卡:8×12 规格专为半导体研发与生产设计,低漏电特性与极低介电吸收率,确保关键器件测量速度远超传统切换技术。其卓越的低电流性能可完美适配 2635B 和 2636B System SourceMeter® SMU 仪器,增强高速 I-V 源信号输出与测量能力,同时支持 4200-SCS 参数分析仪的 I-V 及 C-V 测量功能,兼顾研发阶段的高精度分析与生产阶段的高效测试。
7072 半导体矩阵卡:同样采用 8×12 开关模块,聚焦晶圆及器件半导体参数测试中的低电平与高阻抗测量场景。设备配置两条低电流路径,最大偏置电流仅 1 pA,满足皮安级高灵敏度测量需求;两条专为 DC 至 1 MHz C-V 特性测量优化的信号路径,以及四条支持100nA或200 V 通用信号切换的高品质路径,实现从直流到高频的全参数覆盖。
7072-HV 高压半导体矩阵卡:针对低电平、高电压及高阻抗信号场景设计,两条信号路径可在偏置电流小于 1 pA 的情况下切换 1300 V 电压,是击穿测试、氧化层完整性检测等高压测试的理想选择;两条路径优化 DC 至 1 MHz 的 C-V 测量与共地低电流切换,四条偏置电流 < 20 pA 的路径支持高达 200 V 信号切换,兼顾高压测试与常规参数测量需求。
无缝兼容与高效集成,降低测试系统升级门槛:
Keithley 700 系列的兼容性设计贯穿始终,确保与现有测试设备的深度适配:
仪器兼容:与4200-SCS半导体参数分析仪的矩阵驱动器及GPIB接口完全兼容,可直接替代传统开关矩阵设备,无需对现有测试程序进行大幅修改,大幅降低系统升级的时间与成本。

环境适配:采用标准三轴连接器和线缆,实现超低电流切换性能,无论是实验室研发的小批量测试,还是生产现场的大规模自动化测试,均能稳定运行,确保测试结果的一致性与可靠性。
软件支持:可与 Keithley 自动化检定套件(ACS)无缝集成,支持从单台仪器控制到全测试机架自动化的灵活配置,用户可通过Python编写测试程序,实现从手动测试到自动化流程的快速切换,适配器件检定、参数测试、可靠性测试等多种场景。
赋能半导体全流程测试,助力产业高效发展
从实验室的器件研发到产线的批量生产,Keithley 700 系列半导体开关系统凭借以下核心优势,为半导体产业的高质量发展提供支撑:
高精度保障:低漏电、低偏置电流的设计,避免信号切换过程中的测量误差,确保 I-V 与C-V参数测量的准确性,为器件性能分析提供可靠数据支撑。
高效率提升:多通道并行切换能力显著提升测试吞吐量,减少单器件测试时间,降低生产测试成本,同时支持自动化测试流程,减少人工干预带来的误差与时间损耗。
低成本升级:兼容前代矩阵卡与现有测试仪器,用户无需大规模更换硬件即可完成系统升级,保护现有投资,同时降低新设备的学习与适配成本。
全场景覆盖:从低电流皮安级测量到 1300 V 高压击穿测试,从单器件分析到晶圆级批量测试,灵活的配置方案可满足不同半导体器件(如 MOSFET、IGBT、二极管、电容等)的测试需求,广泛应用于研发实验室、生产测试线、可靠性实验室等多个场景。
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